超精密测量技术
M01C08035
课程基本信息
课程编号
M01C08035
课程中文名称
超精密测量技术
课程英文名称
Ultra-precision Measurement Technology
课程性质
专业选修课
课程类别
开课学院
机电工程学院
允许外学院选课
是
考核方式
上课语言
其他课程
课程中文简介
《超精密测量技术》是为仪器科学与技术学科学术学位硕士研究生开的一门选修课。通过本课程的学习，不仅使研究生能够掌握超精密测量领域的最新理论和技术，并了解本领域国际最新发展动态和发展趋势；本课程涵盖超精密测量领域中几何量的长度、角度、坐标、微观三维形貌和我国亟待解决的核心技术和现有超精密测量原理和方法。
课程英文简介
课程学时安排
教学学时
0
实验学时
0
实践学时
0
周学时
0
其他学时
0
自学学时
0
上课周数
0
总学时
32
课程学分
2.0
教学目标
通过本课程的学习，使研究生了解超精密测量技术的重要意义、国内外前沿研究进展；掌握长度尺寸测量、形位误差测量、表面粗糙度测量、角度锥度误差测量、圆柱螺纹测量和圆柱齿轮测量；了解和掌握超精密测量技术中测量数据分析和误差分离方法。使研究生具备分析、应用前沿超精密测量技术的能力，以及超精密测量技术研究和创新能力。
预备知识要求
主讲教师信息
教师姓名
学历
教师工号
联系电话
13461080135
教师职务
邮箱地址
参考书目
教学日历
第一章 超精密测量技术概论 （2 学时） 内容简介：通过本章内容的学习，使学生了解超精密测量的意义，精密测量技术的发展方向，测量的基本概念，测量过程及测量要素，拟定测量方法时应考虑的主要因素。 第二章 超精密长度测量方法 （4学时） 内容简介：通过本章内容的学习，使学生掌握长度基准与米的定义，量值传递与溯源；线纹尺及量块的检定，轴类尺寸的测量，孔类尺寸的测量，大尺寸与微小尺寸的测量。 第三章 超精形状和位置误差测量方法 （4学时） 内容简介：直线度误差的测量，平面度误差的测量，圆度误差的测量，平行度误差的测量，垂直度误差的测量，同轴误差的测量，形状和位置的评定方法；误差分离法在形状误差测量中的应用。 第四章 超精密角度测量方法 （4学时） 内容简介：通过本章内容的学习，使学生掌握角度与圆锥角的测量，圆周分度误差的测量，电子式角度测量技术。自准直仪测量原理；自准直理论模型与影响因素；光束漂移探测与补偿方法。 第五章 三维表面形貌超精密测量技术 （6学时） 内容简介：通过本章内容的学习，使学生掌握表面轮廓的非接触测量法（光学探针法，外差干涉式测量法，激光数字散斑测量法），纳米表面形貌分析，膜层厚度的测量；扫描探针法原理与原子力显微镜关键技术；光学探针法原理与共焦显微镜关键技术。 第六章 超精几何误差坐标测量方法 （6学时） 内容简介：通过本章内容的学习，使学生掌握三坐标测量机组成及测量系统，测量数据的处理方法，坐标测量机的自动测量方法，三坐标测量机的精度评定。单/多站式激光跟踪仪原理及关键技术；iGPS、全站仪关键技术。 第七章 超精密典型几何误差测量技术 （6学时） 内容简介：通过本章内容的学习，使学生掌握精密圆柱外螺纹测量的三针法、双针法和单针法，圆柱外螺纹测量的误差分析，圆柱内螺纹的测量方法，丝杠误差的测量方法。齿轮单个齿距偏差和齿距累积偏差的测量，齿廓偏差的测量，螺旋线偏差的测量。
教材